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Der MicroProf®: Ein Profilometer für alle Anwendungen

Das Oberflächenmessgerät MicroProf® ist ein leistungsfähiges Multi-Sensor Profilometer für all Ihre 2D-und 3D-Analyseanforderungen. Die berührungslosen und optischen Oberflächenmessgeräte der MicroProf®-Familie sind sehr vielseitige und modulare Messsysteme. Ob als Tischgerät oder vollautomatisiertes Messsystem – die FRT Oberflächenmessgeräte können sowohl in der Forschung und Entwicklung als auch in der Produktion verwendet werden. Das universelle Oberflächenmessgerät MicroProf® steht in verschiedenen Ausführungen zur Verfügung und kann mit Punkt-, Linien- oder Flächensensoren ausgestattet werden. Egal, was Sie messen wollen, ob Profil, Rauheit, Topographie oder Schichtdicke – der MicroProf® ist ein echter Allrounder. Die Oberflächenmessgeräte der MicroProf®- Familie eignen sich für alle Oberflächen – von super glatt bis sehr rau, matt oder reflektierend mit Sub-Nanometer-Präzision. Sie sind einfach zu bedienen, sehr robust, zukunftssicher und liefern in kurzer Zeit Ergebnisse für eine zeit- und kosteneffiziente Arbeit.

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FRT GmbH
Friedrich-Ebert-Straße
51429 Bergisch Gladbach
DEUTSCHLAND

Tel.: +49 2204 84-2430
Fax: +49 2204 84-2431

 

Ein Profilometer für alle Materialien

Die MicroProf®-Systeme basieren auf der bewährten Multi-Sensor Technologie von FRT. Damit sind Sie in der Lage, mit einem System zahlreiche Messaufgaben an unterschiedlichsten Bauteilen / Materialien zu lösen. FRT stellt das optische Messsystem MicroProf® genau entsprechend Ihrer Anforderung zusammen. Das FRT Multi-Sensor Konzept bietet die Möglichkeit, verschiedene Technologien und Messbereiche in einem System zu kombinieren und ermöglicht Ihnen so das Maximum an Flexibilität. Mögliche Sensortypen sind u.a. chromatische Sensoren, Weißlichtinterferometer, Konfokalmikroskop aber auch Dicken- und Schichtdickensensoren. Die optischen Profilometer von FRT bieten verschiedene Vorteile gegenüber klassischen Profilometern wie z.B. eine schnelle und flexible 2D- oder 3D Oberflächenmesstechnik über einen weiten Bereich von Messfeldern, eine berührungslose und damit zerstörungsfreie Analyse von Oberflächenstrukturen und sie enthalten keine Verbrauchsteile (wie zum Beispiel Tastspitzen). Mit dieser Technik können auch sehr empfindliche Oberflächen wie optische Bauteile oder weiche Materialien ebenso wie Metalle, Halbleiterprodukte, Keramik oder Kunststoff und vieles mehr gemessen werden.

Präzise Messung für jede Oberfläche

Oberflächenrauheit, Topographie und Dickenmessung

Die Bestimmung der Oberflächenrauheit, der Topographie und der Schichtdicke spielt eine wichtige Rolle bei der Überwachung, Bewertung und Optimierung von Oberflächen in einer Vielzahl von Industriezweigen. Ob für Implantate in der Medizintechnik, Lederstrukturen für den Fahrzeuginnenraum in der Automobilindustrie oder Hightechprodukte in der MEMS Fertigung - eine eng spezifizierte Rauheit ist oft Teil der Leistungsanforderung und muss daher genau bestimmt werden. Die berührungslos und zerstörungsfrei arbeitenden optischen Profilometer von FRT messen 2D- und 3D-Rauheitsparameter nach den neuesten DIN EN ISO Normen. Aufgrund einer Vielzahl von optischen Sensoren kann nahezu jede Oberfläche und deren Rauheit mit den MicroProf®-Systemen zuverlässig und genau bestimmt werden.
Neben der Oberflächenrauheit messen diese optischen Profilometer aus der MicroProf®-Familie auch die Oberflächentopographie (Profile oder Flächenmessungen) für die Erfassung von zum Beispiel Welligkeit, Ebenheit oder Stufenhöhe. Für die berührungslose und zerstörungsfreie Charakterisierung von dünnen, transparenten oder teiltransparenten Schichten und Mehrschichtsystemen bietet die MicroProf® -Serie die ideale Lösung, wenn Schichtdickensensoren integriert werden (hauptsächlich Reflektometrie mit verschiedenen Spektral- und Dickenbereichen): Oberflächenmessgeräte für die optische Schichtdickenmessung mit höchster Auflösung und Genauigkeit für Schichten mit Dicken von nur wenigen Nanometern bis zu mehreren Millimetern.

Doppelseitige Oberflächenmessung

Mit der nachrüstbaren TTV-Option kann der MicroProf® Proben von beiden Seiten untersuchen (z.B. Wafer). Zwei gegenüberliegende Sensoren messen gleichzeitig auf beiden Seiten der Probe die Form, Topographie und Rauheit und bestimmen im gleichen Messvorgang Dicke und Gesamtdickenvariation (TTV). Für die Halterung verschiedener Bauteile wie z.B. Wafer, Optiken, Folien, Bleche usw. stehen austauschbare Halter zur Verfügung. Der MicroProf® mit TTV kann mit einer Mustererkennungssoftware ausgestattet werden und mit Messrezepten und Handling voll automatisiert betrieben werden.


Vollständig automatisierte Oberflächenmessungen

Mit der leistungsstarken FRT Software Acquire Automation XT kann der MicroProf® vollständig automatisiert werden. Um auch die höchsten Anforderungen zu erfüllen, kann die Software auf Ihre individuellen Bedürfnisse zugeschnitten werden. Sowohl Einzelkomponenten als auch mehrere Teile desselben Typs können leicht mit der „Step-and-repeat“-Funktionalität gemessen und analysiert werden. Für das Anlernen der einfach zu erstellenden Rezepte sind keine Programmierkenntnisse erforderlich.
Mit der nachrüstbaren MHU-Option kann die vollautomatische Messung von Proben inklusive Handling leicht durchgeführt werden. Ursprünglich für Wafer entwickelt beherbergt die MHU bis zu vier Kassetten für Teile bis zu 8 Zoll im Durchmesser und kann vollständig in den Produktionsablauf integriert werden. Ein Zwei-Arm-Vakuumgreifer platziert die Teile automatisch an der definierten Messposition. Der Endeffektor kann leicht getauscht und an unterschiedliche Probenspezifikationen angepasst werden. Optional kann die MHU am MicroProf® mit einer Probensortierung hinsichtlich Gut- und Schlechtteilen ausgestattet werden.

Messungen unter Temperatureinfluss

Der MicroProf® kann mit einer Thermoeinheit ausgestattet werden, um die Oberflächentopographie von Komponenten unter kontrollierter thermischer Belastung zu messen. Die Proben sind auf einer Heiz- und Kühlplatte angeordnet und werden innerhalb einer geschlossenen Kammer (mit Glasabdeckung) aufgeheizt. Die Probentemperatur kann exakt eingestellt und individuell mit Temperaturprofilen konfiguriert werden.
Mit der Thermoeinheit können vollautomatische Messungen der Oberflächentopographie bei unterschiedlichen Temperaturen mit entsprechenden Verweilzeiten bei konstanten Temperaturen durchgeführt werden.